兆声波喷淋式喷头是把兆声换能器装配到喷嘴中，以喷淋的方式对工件进行清洗，它的优势在于通过调整清洗高度，把声能焦点调配至清洗工件表面，高强度的聚焦兆声能量直接对工件表面进行清洗，再配合兆声喷头和工件的运动来实现整个工件的清洗，喷淋式兆声清洗的方式，兆声转换效率更高，并且避免了槽式兆声清洗中声场强度随水槽液体深度变化而变化的问题，使工件表面获得的声能更均匀，另外，也不会发生像槽式清洗中，水槽中残留的脏污对工件造成二次污染的问题。

兆声波槽式清洗系统是把兆声振板贴合到清洗槽底部，组成兆声波槽式清洗池，兆声波槽式清洗与传统的超声波清洗相似，使用时将工件放置在水槽中，优点是清洗槽中发射的兆声声场均匀，使用便捷，可批量清洗工件，适用于量产化兆声清洗的应用，目前对晶圆的批量清洗、显影、刻蚀、化学机械抛光等湿法处理多采用兆声波槽式清洗。