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兆声清洗

视频展示:

亓耳超声的兆声波清洗技术的优点:
 

◆ 极低的空化效应对高精密器件表面微结构不会造成损伤。

◆ 清洗精度高,可去除200纳米的颗粒。

◆ 防腐性高,适用于各种酸碱及有机溶剂。

◆ 超高的聚焦能量,清洗效率快。

◆ 对清洗工件的尺寸和形状无要求,广泛的适用于多种高精密器件的清洗。

 

相关产品推介

超声波清洗技术是一种常见的工业清洗技术,传统的超声波清洗技术是利用超声波在液体中产生的空化作用,对物体表面进行清洁。但超声波空化作用非常强会对物体表面造成一定程度的损伤,尤其一些半导体器件、光学精密件表面会存在微结构,超声波清洗的强空化效果就会对精密器件表面造成损伤,所以高精密器件就需要采用兆声波清洗,兆声波清洗是利用兆赫兹级别的超高频超声波能量去进行基材表面亚微米级颗粒的清除。相比于低频率超声波空化效应,兆声波空化效应可清除更小的颗粒,而且对基材无损伤。亓耳超声提供多种类型的兆声系统以用于CMP化学机械抛光、晶圆清洗、掩膜清洗、显影、去胶、金属剥离、湿法刻蚀等多种领域。
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