晶圆聚酰亚胺涂覆

亓耳超声提供用于半导体聚酰亚胺涂层制备的超声波精密喷涂机，相比于旋涂、浸涂等传统制膜工艺，超声波喷涂成膜均匀性高、对工件表面微结构包覆性好、聚酰亚胺原材料利用率高、涂覆面积不受限制。在实际应用中，超声波雾化喷涂的工艺对工件3D微结构表面聚酰亚胺涂覆包裹性和均匀性方面都明显高于传统旋涂工艺。亓耳超声的超声波喷涂系统可用于硅片、陶瓷、玻璃、金属等材料的平面或3D结构基材表面制备均匀涂层，典型应用包括晶圆、MEMs、镜头、微流控芯片、过滤器滤芯等等。超声波喷涂可以设定多个喷涂工艺参数来精密控制喷涂液量，能够将聚酰亚胺均匀、轻柔的涂覆在工件上表面上，形成膜厚可控的均匀涂层，采用超声波喷涂工艺，产品一致性和重复性有保障，是一种经济、高效的聚酰亚胺涂层制备手段。